工业超纯水机采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统(混床系统)，使其产水水质满足生产用水的要求。
工业超纯水机由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。原水经石英砂单元、活性炭单元、软水器单元等预处理系统后，使水中的悬浮物、胶体、有机物、硬度、微生物等杂质含量大大降低，以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷，延长其使用寿命。
工业超纯水机使用前的检查工作：
1、检查纯水机管路是否堵塞。
2、检查纯水机电源，接通纯水机交流电，如果纯水机输入电源正常，检查变压器输出电压。
3、检查高压开关。
4、检查进水电磁阀，是否正常。拧开电磁阀出水口，接通电源，检查是否通水，如不通水，转入下一步检测。
5、打开原水球阀，检测反渗透膜前滤芯是否堵塞 如堵塞更换，如果通水，电磁阀损坏。
6、检查增压泵泵后压力是否达到要求。如果低于0.3MPa 需要更换。
7、打开反渗透膜纯水口，如不出水，反渗透膜损坏。
8、检查是否废水排放量过大，使纯、废水比例失调。
9、检查后置活性炭滤芯是否堵塞。
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