超纯水（尤指18.2MΩ.cm的超纯水）纯净程度到了极限(总盐类浓度在1ppb以下）。在这种情况之下，留在水中并可以导电的阴阳离子，也只剩下1×10^-7M的[H^＋]及[OH^－]了。这时，空气中二氧化碳的浓度虽然只有0.035%(350ppm)，却能与水产生化学变化，反应式为：CO₂ + H₂O <--> H₂CO₃，当超纯水开始曝露在大气下时，二氧化碳的溶解，就无可避免的持续下去。这时，导电度会持续升高(或阻抗持续下降)，通常，在一小时之内，导电度会由0.055μS/㎝ (18.2MΩ.㎝)升高到0.25μS/㎝以上(4MΩ.㎝以下)，整个过程中水中总离子浓度提高到4.5倍以上。

（二氧化碳对超纯水电阻率的影响曲线图）

以上仅是空气中CO₂对超纯水水质的影响，空气中还有氧气（O₂）、二氧化硫（SO₂）、硫化氢（H₂S）、甲烷（CH₄）等气体；以及灰尘、挥发性有机物、微生物等污染物质；同时用于存储超纯水的容器与超纯水接触后还有离子的析出，所有这些，对纯度*的超纯水影响程度远远大于普通的纯水，这从“二氧化碳对超纯水电阻率影响"曲线图上可以得到印证：水质下降到4MΩ.cm以后，曲线斜率明显变小趋于水平。

由此可以得出结论：超纯水要现取现用。任何方式的贮存及久放，除了会有容器造成的污染外，可溶性气体、灰尘、挥发性有机物、微生物等污染造成的导电度＆TOC上升是无法抗拒的。